dc.contributor.author
Muffler, Hans-Jürgen
dc.date.accessioned
2018-06-07T23:37:20Z
dc.date.available
2001-08-09T00:00:00.649Z
dc.identifier.uri
https://refubium.fu-berlin.de/handle/fub188/10733
dc.identifier.uri
http://dx.doi.org/10.17169/refubium-14931
dc.description
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Titelblatt
Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung
1
2 ION LAYER GAS REACTION ILGAR, ein alternatives Depositionsverfahren für
dünne Beschichtungen
5
2.1
Depositionsmethoden für Verbindungen in der Dünnschichttechnologie
5
2.2
ILGAR-Verfahren
6
2.2.1
Funktionsprinzip
6
2.2.2
Chemische Reaktionsprozesse für II?VI-Halbleiterschichten
8
2.2.3
Die Deposition von Sulfidverbindungen
8
2.2.4
Die Deposition von Oxidverbindungen
9
2.2.5
Die Deposition von Hydroxid-Oxid-Sulfidgemischen
10
2.3
Zusammenfassung des Kapitels
11
3 Informationen über das Schichtwachstum beim ILGAR-Sulfid-Prozeß aus
strukturellen und optischen Eigenschaften
13
3.1
Standard-ILGAR-Präparationsbedingungen für nanokristalline Sulfidschichten
13
3.2
Komposition, Kristallstruktur und Morphologie von ILGAR-Metallsulfid-Schichten
14
3.2.1
Komposition und Kristallstruktur
15
3.2.2
Morphologie der ILGAR-Sulfidschichten
17
3.3
Vereinfachtes Wachstumsmodell von ILGAR-CdS-Nanokristalliten
18
3.3.1
Abschätzung der Weite der optischen Bandlücke
18
3.3.2
Größenquantisierungseffekt und Kristallitgrößenbestimmung bei den ILGAR-CdS-
Schichten
20
3.3.2.1
"Größenquantisierungseffekt" (Q-Size-Effect)
21
3.3.2.2
Einfluß der Schichtdicke auf die Kristallitgröße
24
3.3.2.3
Einfluß der CdCl2-Konzentration auf die Kristallitgröße
24
3.3.2.4
Mechanismus der ILGAR-CdS-Abscheidung
25
3.4
Beschreibung der Absorptionskante einer nanokristallinen Schicht
27
3.4.1
Lichtabsorption und Interbandübergänge bei nanokristallinen Schichten
28
3.4.2
Berücksichtigung der Kristallitgrößenverteilung einer nanokristallinen Schicht
29
3.5
Anwendung des optischen Modells auf nanokristalline ILGAR-ZnS-Schichten
31
3.5.1
Vorgehensweise bei der Simulation
31
3.5.2
Optisches Absorptionsverhalten von ILGAR-ZnS-Schichten
32
3.6
Zusammenfassung des Kapitels
37
4 Modifikationen des ILGAR-Sulfid-Verfahrens für verschiedene Anwendungs-
bereiche
39
4.1
Einfluß der Prozeßführung auf die stöchiometrischen und optischen
Eigenschaften der ILGAR-Sulfid-Schichten
39
4.1.1
Reduzieren und Entfernen von Ausgangsmaterial
39
4.1.2
Modell des Reaktionsablaufs beim ILGAR-Sulfid-Prozeß
42
4.2
Anwendungsbeispiele
44
4.3
Zusammenfassung des Kapitels
45
5 Sulfidische ILGAR-Halbleiterschichten in Chalkopyrit-Dünnschichtsolarzellen
47
5.1
Aufbau der Cu(In,Ga)(S,Se)2-Chalkopyrit-Dünnschichtsolarzelle und Aufgabe der
Pufferschicht
47
5.1.1
Funktion der bisher verwendeten CBD-CdS-Pufferschicht und Rolle des
Abscheideverfahrens
48
5.1.2
Anforderungen an alternative Pufferschichten und Abscheideverfahren
50
5.2
Diagnostik für die Entwicklung der Dünnschichtsolarzelle
51
5.2.1
Wirkungsweise der Solarzelle und Zellenparameter
51
5.2.2
Photoelektronen-Spektroskopie ? eine Methode zur Grenzflächenanalyse
53
5.3
Einfluß der Oberflächen-Modifikation des Absorbers auf die Bauelement-
Eigenschaften
55
5.3.1
Verfahren der Oberflächenmodifikation des Absorbers
55
5.3.2
Ergebnisse aus der Oberflächenmodifikation von CIGSSe
67
5.4
Solarzellen mit ILGAR-Pufferschichten; Einfluß der chemischen Zusammensetzung
des Puffers
69
5.4.1
ILGAR-Sulfid-Puffer
69
5.4.2
ILGAR-Hydroxid-Oxid-Sulfid-Puffer für hocheffiziente CIGSSe-Solarzellen
72
5.5
Zusammenfassung des Kapitels
80
6 Zusammenfassung
81
Anhang
AI) Bestimmung des Volumenanteils von ZnS im ILGAR-ZnS-Dünnfilm
85
AII) Funktionsprinzip des Spektrophotometers und Auswertung der Transmissions-
und Reflexionsspektren
86
AIII) Standardbedingungen der Pufferschichtabscheidung
90
AIV) Photoelektronen-Spektroskopie ? Übersichtsspektren von Cu(In,Ga)(S,Se)2,
Mess- und Literaturdaten
92
AV) Materialeigenschaften der betrachteten Sulfid-Verbindungen
96
AVI) Formelzeichen und Abkürzungen
98
Literaturverzeichnis
100
Patent, Veröffentlichungen, Konferenz- und Messebeiträge
105
Lebenslauf / Danksagung
dc.description.abstract
In dieser Arbeit wird ein neues Abscheidekonzept für sulfidische Puffer von
Cu(In,Ga)(S,Se)2-"CIGSSe"-Solarzellen erarbeitet, das eine Alternative zur
chemischen Badabscheidung (Chemical Bath Deposition, CBD) darstellt. Es beruht
auf dem jüngst am Hahn-Meitner-Institut entwickelten Ion-Layer-Gas-
Reaction-(ILGAR)-Verfahren. Zudem wird das für Chalkopyrit-
Dünnschichtsolarzellen zumeist verwendete schwermetallhaltige CdS durch eine
umweltverträglichere Zink-Schwefel-Verbindung ersetzt. Neben der
systematischen Wirkungsgradsteigerung beim Verwenden des alternativen Puffers
in Solarzellen werden die sich ergebenden elektronischen Bauelement-
Eigenschaften sowie die physikalischen Materialeigenschaften der Pufferschicht
erarbeitet. Im ersten Teil der Arbeit wird neben der Vorstellung des ILGAR-
Verfahrens gezeigt, daß ILGAR-Sulfid-Schichten, die auf glattem Substrat und
bei Temperaturen unter 100°C prozessiert werden, nanokristallin sind und daher
den Größenquantisierungseffekt aufweisen. Diese Eigenschaft wird ausgenutzt,
um auf unkomplizierte und rasche Weise das Wachstumsverhalten der ILGAR-
Schichten zu untersuchen. Ein speziell hierfür entwickeltes Programm zur
Simulation des Verlaufs der optischen Absorptionskante wird eingeführt,
welches u.a. eine Kristallitgrößenverteilung und den
Größenquantisierungseffekt berücksichtigt. Anhand der optischen
Schichteigenschaften wird es möglich, für den zyklischen ILGAR-Prozeß den
komplexen Wachstumsvorgang von Sulfidschichten zu beschreiben. Es stellt sich
heraus, daß das Kristallisationsverhalten des Ausgangssalzes einen
wesentlichen Einfluß auf das Wachstum hat. Der zweite Teil der Arbeit
beschäftigt sich mit der Entwicklung des neuen Abscheidekonzeptes und des zum
CdS alternativen Puffers. Es wird gezeigt, daß wegen des Verwendens von
Ammoniak-freien Metallsalzlösungen im ILGAR-Verfahren eine chemische
Behandlung des CIGSSe-Absorbers vor der Pufferabscheidung notwendig wird. Wie
XPS-Analysen von Ammoniak- bzw. KCN-behandelten Absorbern ergeben, entfernen
beide wäßrige Lösungen Natriumcarbonat und Selendioxid von der
Absorberoberfläche. Außerdem sind die Ergebnisse Indiz dafür, daß zusätzlich
der an den Absorber gebundene Sauerstoff durch die Behandlungen verringert
wird. Erstmalig werden mit XPS-Untersuchungen und mit optischer Spektroskopie
viele Hinweise geliefert, daß sich bei der Vorbehandlung des Absorbers in
Cadmium- bzw. Zinksalzlösung die entsprechenden Metallhydroxide auf der
Oberfläche bilden. Die Ergebnisse speziell geführter Zinksalz-
Dimethylsulfoxid-Behandlungen des Absorbers stützen die jüngsten Annahmen
einer Diffusion von Metallionen in die Absorberoberfläche. Trotz Integration
der chemischen Vorbehandlung in das neue Abscheidekonzept erhält man nur dann
einen gut funktionierenden Puffer, wenn gezielt Oxid und Hydroxid in das
entsprechende Sulfid eingebaut werden. Eine CIGSSe-Solarzelle mit einem ILGAR-
Zn(OH,O)S-Puffer erreicht dabei einen Wirkungsgrad von eta=14.2 %. Die
entsprechende Solarzelle mit CBD-CdS-Puffer besitzt einen Wirkungsgrad von
eta=14.1 %. Durch die Entwicklung des effizienten ILGAR-Zn(OH,O)S-Puffers ist
somit nachgewiesen worden, daß ein zum CBD-CdS-Puffer alternatives, Cadmium-
freies Puffermaterial zu CIGSSe-Solarzellen mit vergleichbarer Zellenqualität
führt.
de
dc.description.abstract
In this thesis, a novel concept of depositing sulfidic buffers of
Cu(In,Ga)(S,Se)2 "CIGSSe" solar cells is developed. This alternative to the
chemical bath deposition process is based on the Ion-Layer-Gas-Reaction
(ILGAR) method, which recently was developed at the Hahn-Meitner-Institute.
Moreover, the heavy metal containing CdS usually used in such chalcopyrite
solar cells is replaced by an alternative, more ecological zinc-sulfur
compound. Beside the systematic increase in solar cell efficiency the
electronic properties of such an alternative device and the physical
properties of the buffer material are investigated. After the presentation of
the ILGAR-method the first part of this work illustrates that ILGAR-sulfide
layers, deposited on smooth substrates and at temperatures below 100°C, show a
significant blue shift in their optical absorption due to the quantum size
effect. This effect is used to investigate the growth behavior of ILGAR-films
in a quick and uncomplicated way. A specially developed computer program
simulating the optical absorption edge and taking into account the
distribution of crystallite size, the quantum size effect and the phonon-
photon-coupling is presented. It facilitates the understanding of the complex
growth process of the ILGAR-sulfide layer. The main result of this growth
study is that the crystallization behavior of the precursor salt has a
significant influence on growth characteristic. The second part of this work
concerns the development of the novel deposition concept and the alternative
buffer with respect to CdS. It is shown that the use of ammonia free metal
salt solutions at room temperature in the ILGAR process makes a chemical
pretreatment of the CIGSSe absorber necessary. XPS-analysis shows that ammonia
and KCN dissolved in water remove sodium carbonate and selenium dioxide from
the absorber surface. Moreover, the results are an indication of a reduction
of oxygen bound to the absorber. For the first time XPS analysis and optical
spectroscopy have been used to prove that there is a deposition of cadmium
hydroxide and zinc hydroxide on the absorber surface by the corresponding
treatments. In the case of buffer free solar cells an increase in open circuit
voltage is observed with increasing temperature of a zinc-dimethylsulphoxide
treatment, confirming the assumption of a diffusion of metal ions into the
absorber surface. The chemical pretreatment is one substantial part of the
novel deposition concept. Moreover, the composition of the sulfidic buffer is
important in this concept. It is shown that for a well working device this
layer must be a mixture of sulfide, hydroxide and oxide. An ILGAR-Zn(OH,O)S
buffered CIGSSe-solar cell than reaches an efficiency of eta=14.2 %; the CBD-
CdS buffered reference cell leads to eta=14.1 %. By the development of an
efficiently working Zn(OH,O)S buffer a cadmium free alternative to the CBD-CdS
buffer for chalcopyrite solar cells with comparable device performance is
demonstrated.
en
dc.rights.uri
http://www.fu-berlin.de/sites/refubium/rechtliches/Nutzungsbedingungen
dc.subject
deposition method
dc.subject
II-VI semiconductors
dc.subject.ddc
500 Naturwissenschaften und Mathematik::530 Physik::530 Physik
dc.title
Umsetzung und Funktionsprinzip eines alternativen Material- und
Abscheidekonzepts für Pufferschichten von Solarzellen
dc.contributor.firstReferee
Prof. Dr. Martha Ch. Lux-Steiner
dc.contributor.furtherReferee
Prof. Dr. Dieter Bräunig
dc.date.accepted
2001-05-22
dc.date.embargoEnd
2001-08-31
dc.identifier.urn
urn:nbn:de:kobv:188-2001001566
dc.title.translated
Realization and functional principle of an alternative concept of material and
deposition for buffers of solar cells
en
refubium.affiliation
Physik
de
refubium.mycore.fudocsId
FUDISS_thesis_000000000371
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http://www.diss.fu-berlin.de/2001/156/
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